詳細情報
著作分類
IIRケーススタディ
著者
中馬宏之
論文タイトル
世界の半導体微細計測を支える測長用SEM（走査電子顕微鏡）： “日立”を体現する独自性と普遍性
機関名
一橋大学イノベーション研究センター
ナンバー
CASE#12-11
出版・発行年月
2012/10/31
要旨
備考
参考URL
ラベル
大河内賞
登録日
2012/10/31
