|
著作分類
|
論文
|
|
著者
|
Kikuchi, J.:S. Fujimura:R. Kurosaki:H. Yano
|
|
論文タイトル
|
Puls-modulated infrared-laser interferometric thermometry for non-contact silicon substrate temperature measurement
|
|
機関名
|
Journal of Vacuum Science and Technology
|
|
巻
|
vol.A15
|
|
号
|
|
|
ページ
|
2035
|
|
出版・発行年月
|
1997
|
|
要旨
|
|
|
備考
|
|
|
参考URL
|
|
|
ラベル
|
技術経営
|
|
登録日
|
1997/12/31
|
