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著作分類
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本の一章執筆
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著者
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Fujimura,S.: \K. Ishikawa:H. Mori
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論文タイトル
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Observation of thin SiO2 films using IR-RAS
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編者
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C. R. Helms and B. E. Deal
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本タイトル
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The Physics and Chemistry of SiO2 and the Si-SiO2 Interface 2
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ページ
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pp. 91-98
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出版社都市名
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New York
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出版社名
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Plenum Press
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出版・発行年月
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1993
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要旨
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備考
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参考URL
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ラベル
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技術経営
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登録日
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1993/12/31
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