詳細情報
著作分類
本の一章執筆
著者
早見由香:藤村修三
論文タイトル
シリコンの科学
編者
大見忠弘、新田雄久
本タイトル
Surface Science Technology Series 3
ページ
pp.349-357
出版社都市名
出版社名
UCS半導体基板技術研究会編 、リアライズ社
出版・発行年月
1996
要旨
備考
参考URL
ラベル
技術経営
登録日
1996/12/31
