詳細情報
著作分類
論文
著者
Kohzu, Hideaki
論文タイトル
Infrared rapid thermal annealing for GaAs device fabrication
機関名
Journal of Applied Physics
巻
Vol. 54
号
Issue 9
ページ
pp. 4998-5003 (with coauthors)
出版・発行年月
1983/09
要旨
備考
参考URL
ラベル
技術経営
登録日
1983/12/31
