詳細情報
著作分類
論文
著者
Kohzu, Hideaki
論文タイトル
Infrared rapid thermal annealing of Si -implanted GaAs
機関名
Applied Physics Letters
巻
Vol. 41
号
Issue 8
ページ
pp. 755-758 (with coauthors)
出版・発行年月
1982/10/15
要旨
備考
参考URL
ラベル
技術経営
登録日
1982/12/31
