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著作分類
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論文
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著者
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Kohzu, Hideaki
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論文タイトル
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Electrical properties of S implants in GaAs activated by infrared rapid thermal annealing
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機関名
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Journal of Applied Physics
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巻
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Vol. 54
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号
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Issue 6
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ページ
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pp. 3121-3124 (with coauthors)
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出版・発行年月
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1983/06
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要旨
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備考
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参考URL
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ラベル
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技術経営
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登録日
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1983/12/31
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